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【項目背景】

脆性材料（如石英、玻璃、半導(dǎo)體材料等）因其獨特的力學(xué)性能和電子學(xué)性能得到越來越多的應(yīng)用，但脆性材料硬度大、塑性差，采用傳統(tǒng)機械加工方法無法避免破碎、崩邊、粉塵污染、工具損耗等問題，激光加工柔性高、無工具損耗、加工精度高，是解決脆性材料精密加工的最佳方案之一。本項目解決了激光與脆性材料相互作用原理、激光加工光路設(shè)計、激光光束整形等一系列問題，開發(fā)了脆性材料激光超精密加工技術(shù)。

【技術(shù)簡介】

采用無衍射光束實現(xiàn)石英、玻璃等材料的超高精密切割，配合化學(xué)方法可實現(xiàn)各種封閉圖形的自動分離；采用矢量打點技術(shù)可實現(xiàn)厚玻璃的小孔精密、高效加工技術(shù)；基于隱形切割原理實現(xiàn)碳化硅、硅等半導(dǎo)體材料的精密切割。

【技術(shù)優(yōu)勢】

（1）石英、玻璃等材料的切割精度高、崩邊小（≦10μm），無粉塵污染，可實現(xiàn)任意封閉結(jié)構(gòu)（典型尺寸≧1mm）的自動分離；（2）厚玻璃（最高可達10mm）小孔（典型尺寸≧1mm）加工精度高（崩邊≦60μm），幾乎無錐度；（3）碳化硅隱形切割無表面損傷，無粉塵污染，單面崩邊≦10μm。

【應(yīng)用場景】

航空、航天、汽車、電子、國防等需要使用石英、玻璃、碳化硅等脆性材料的場合。

【擬合作方式】

（1）提供技術(shù)咨詢服務(wù)；

（2）針對石英、玻璃的超精密切割提供技術(shù)解決方案；

（3）針對厚玻璃小孔精密加工提供技術(shù)解決方案；

（4）針對碳化硅、硅的隱形切割提供技術(shù)解決方案。