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一種提高透明導(dǎo)電薄膜綜合光電特性的激光加工方法

發(fā)布時(shí)間:2022-12-05 閱讀量:2118

綜合介紹:激光誘導(dǎo)正向轉(zhuǎn)移(LIFT)是近年來發(fā)展起來的一種新型制造技術(shù)。它可以在固體表面快速沉積特定的微圖案或微結(jié)構(gòu),;因此,,它在微納米制造領(lǐng)域,,特別是微光學(xué)器件的制備方面具有良好的發(fā)展前景。我們通過數(shù)值模擬揭示了皮秒激光誘導(dǎo)的銀薄膜的轉(zhuǎn)移機(jī)理,;通過激光誘導(dǎo)正向轉(zhuǎn)移(LIFT)技術(shù),,在鋁摻雜的氧化鋅(AZO)薄膜上沉積了不同厚度的銀薄膜,并且通過調(diào)整激光參數(shù),,成功制備了質(zhì)量因子較高Ag-AZO薄膜,,提高了導(dǎo)電薄膜的光電性能。

創(chuàng)新要點(diǎn):創(chuàng)新性地將激光誘導(dǎo)正向轉(zhuǎn)移(LIFT)應(yīng)用于透明導(dǎo)電薄膜的改性,,即用皮秒激光轉(zhuǎn)移高導(dǎo)電金屬薄膜,,將具有特殊光學(xué)性能的金屬納米顆粒沉積在AZO薄膜表面,從而降低了AZO薄膜的薄片吸收率,,提高了透明導(dǎo)電薄膜的質(zhì)量系數(shù),。透明光學(xué)薄膜的處理技術(shù)不僅可以有效提高薄膜的光電性能,也有操作簡單,,控制簡單的特點(diǎn),,可大范圍應(yīng)用于微尺度處理。

技術(shù)指標(biāo):出了一種快速,、大面積提高透明導(dǎo)電薄膜綜合光電特性的激光加工方法,,可大范圍應(yīng)用于光伏技術(shù)。

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皮秒激光正向轉(zhuǎn)移實(shí)驗(yàn)光路圖


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