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一,、項(xiàng)目成果簡介

本項(xiàng)目基于0.18um CMOS工藝制備了一款多頻段太赫茲探測器芯片，通過多環(huán)嵌套的方式分別設(shè)計(jì)了圓形,、菱形和單雙環(huán)形片上天線,，實(shí)現(xiàn)了頻率在280GHz、290GHz,、320GHz,、600GHz以及806GHz的太赫茲信號探測。

芯片顯微照片

二,、性能指標(biāo)

帶雙環(huán)片上天線的探測器（Detector1）電壓響應(yīng)度為366.6V/W,，噪聲等效功率為0.578nW/Hz1/2，帶圓形開槽片上天線的探測器（Detector2）電壓響應(yīng)度為1286.6V/W,，噪聲等效功率為0.211nW/Hz1/2,，帶菱形片上天線的探測器（Detector3）電壓響應(yīng)度為366.3V/W，噪聲等效功率為0.594nW/Hz1/2,，帶單環(huán)差分片上天線的探測器（Detector4）電壓響應(yīng)度為701.2V/W,，噪聲等效功率為0.261nW/Hz1/2。

三,、適用范圍,、市場前景

本項(xiàng)目所設(shè)計(jì)的多頻段太赫茲探測器芯片解決了傳統(tǒng)太赫茲探測器體積龐大、探測頻段單一等問題,，在雷達(dá)探測,、生物醫(yī)療檢測、工業(yè)和農(nóng)業(yè)無損檢測等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景,。

四,、投資概算

300萬元。

五、合作方式

轉(zhuǎn)讓,、轉(zhuǎn)讓加提成,、合作生產(chǎn)。