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一,、項目成果簡介

本項目基于0.18um CMOS工藝制備了一款多頻段太赫茲探測器芯片，通過多環(huán)嵌套的方式分別設(shè)計了圓形,、菱形和單雙環(huán)形片上天線,，實現(xiàn)了頻率在280GHz,、290GHz、320GHz,、600GHz以及806GHz的太赫茲信號探測,。

芯片顯微照片

二、性能指標

帶雙環(huán)片上天線的探測器（Detector1）電壓響應(yīng)度為366.6V/W,，噪聲等效功率為0.578nW/Hz1/2,，帶圓形開槽片上天線的探測器（Detector2）電壓響應(yīng)度為1286.6V/W，噪聲等效功率為0.211nW/Hz1/2,，帶菱形片上天線的探測器（Detector3）電壓響應(yīng)度為366.3V/W,，噪聲等效功率為0.594nW/Hz1/2，帶單環(huán)差分片上天線的探測器（Detector4）電壓響應(yīng)度為701.2V/W,，噪聲等效功率為0.261nW/Hz1/2,。

三、適用范圍,、市場前景

本項目所設(shè)計的多頻段太赫茲探測器芯片解決了傳統(tǒng)太赫茲探測器體積龐大,、探測頻段單一等問題,，在雷達探測、生物醫(yī)療檢測,、工業(yè)和農(nóng)業(yè)無損檢測等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景,。

四、投資概算

300萬元,。

五,、合作方式

轉(zhuǎn)讓、轉(zhuǎn)讓加提成,、合作生產(chǎn),。