脆性材料激光超精密加工技術
【項目背景】脆性材料(如石英、玻璃,、半導體材料等)因其獨特的力學性能和電子學性能得到越來越多的應用,,但脆性材料硬度大、塑性差,,采用傳統(tǒng)機械加工方法無法避免破碎,、崩邊、粉塵污染,、工具損耗等問題,,激光加工柔性高、無工具損耗,、加工精度高,,是解決脆性材料精密加工的最佳方案之一。本項目解決了激光與脆性材料相互作用原理,、激光加工光路設計,、激光光束整形等一系列問題,開發(fā)了脆性材料激光超精密加工技術,?!炯夹g簡介】采用無衍射光束實現(xiàn)石英、玻璃等材料的超高精密切割,,配合化學方法可實現(xiàn)各種封閉圖形的自動分離,;采用矢量打點技術可實現(xiàn)厚玻璃的小孔精密、高效加工技術,;基于隱形切割原理實現(xiàn)碳化硅,、硅等半導體材料的精密切割?!炯夹g優(yōu)勢】(1)石英,、玻璃等材料的切割精度高、崩邊?。èQ10μm),,無粉塵污染,可實現(xiàn)任意封閉結構(典型尺寸≧1mm)的自動分離,;(2)厚玻璃(最高可達10mm)小孔(典型尺寸≧1mm)加工精度高(崩邊≦60μm),,幾乎無錐度;(3)碳化硅隱形切割無表面損傷,,無粉塵污染,,單面崩邊≦10μm?!緫脠鼍啊亢娇?、航天、汽車,、電子,、國防等需要使用石英、玻璃,、碳化硅等脆性材料的場合,。【擬合作方式】(1)提供技術咨詢服務,;(2)針對石英,、玻璃的超精密切割提供技術解決方案,;(3)針對厚玻璃小孔精密加工提供技術解決方案;(4)針對碳化硅,、硅的隱形切割提供技術解決方案,。
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